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“都是什么?”
鲍尔森,“首先,台积电取消了一笔光刻机订单,是和尼康的。”(这个时期,光刻机还是尼康的天下。)
“还有,台积电扩建了超纯水的处理系统,订单给了米国的一家设备公司。”
“还有!”沉吟半晌,“还有,台积电派出的专家团队有一个人很特别。”
齐磊听到这里,眼中直冒绿光,一段几乎被遗忘的记忆在脑中渐渐清晰。
迫不及待,“有多特别!?”
鲍尔森,“这个人不是某个领域的专家,也不是台积电的关键技术工程师,他只是…只是一个车间的技术员?”
说到这儿,鲍尔森又气馁了,“你瞧,我真的在查!可是,这些都没什么用啊!”
他却不知道,电话那头的齐磊已经有答案了——浸润式光刻机!!
euvllc当下在搞的技术攻关,就是浸润式光刻机,也就是湿刻法。
就在鲍尔森还懵着的时候,齐磊滴的一声把电话挂了。
鲍尔森人傻了,什么情况?断线了?
再给齐磊拨过去,那边却是占线。
齐磊的电话是打给拜伦奥古斯特的。
刚一接通,齐磊的问题连珠炮似的打出去。
“台积电今年有增产计划吗?他们退订了尼康的光刻机,却扩建了净水规模,这合理吗?”
“还有,你听没听说过湿刻法?”
拜伦就喜欢老板这么直来直去的,而且是在他擅长的领域,一点不废话。
“据我所知,台积电没有增产计划。”
“第二,都退订了,还要那么多水干什么?有病啊?”
“第三,什么是湿刻法?你又不懂技术,别瞎出主意!”
齐磊,“挂了!”
现在,他可以基本确定,euvllc就是在搞湿刻。
在湿刻法,也就是浸润式光刻机出来之前,几大光刻机厂家,包括尼康、阿斯麦等等,都是干刻。
所谓光刻,就是把光打在掩模板上,再投射到晶圆上面,使得晶圆上的光学胶水发生反应,行程电路的过程。
干刻时代,从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的,极限就是193纳米。
而湿刻,顾名思义,就是把在气体介质中进行的光刻过程移到水里。
具体怎么回事儿,反正齐磊也不懂,就知道湿刻比干刻有优势,可以在不改变光刻机其它部件和精度的情况下,突破193纳米的极限。
这也是齐磊在后世的报道中得到的只言片语。
而且还知道,这个从干刻到湿刻的过程,正是台积电的一个技术人员提出来的。
他也是偶然的一个创意,随口说了句,“只要往光刻机里注水,芯片制程就能大幅度提高。”
最后成就了这次技术革命。
是的,没错,就是这么简单!
虽然由原本的光刻技术到湿刻的过程肯定比这么一句话复杂得多,也有难度得多。
可是,原理就是这么简单,就是一个随口而出的创意。
而euvllc之所以这么保密,原因也在这儿,太简单了!
往光刻机里灌水,一般人虽然做不到,可是那些光刻机厂家要是听去这么一句话,那想造出来就是分分钟的事儿。
齐磊端着电话,愣在那儿,半天也没回过魂儿来,大脑正是飞速运转。
李憨憨一身居家服,叼着果丹皮,从自己那屋出来。
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