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第92章 56型接触式光刻机製成（第1页）

正式的光刻机组装比起从显微镜魔改难度自然不一样。

主要难点並非说是最后的组装，更多的在於自主零件的適配与工艺的达標。

工业基础条件落后，所带来的工业品差距是体现在方方面面的。

特种零件强度標准，公差標准等等，其实一上手就能感觉到跟英方的显微镜设备中的零件有差距。

好在沈永健这般镜头配件的组装下来，倒是还算顺利。

第一代接触式光刻机，他设计之初也考虑到了材料生產的难题，儘可能减少精密零件的需求。

“对的…好…没问题！”

“水平，垂直，基准面…都对上了！”

卓邵文在一旁替他把著精確度的標准，声音中带著一丝不易察觉的激动。

“邵文，帮我递一下光学镜头组和那个苏制的投影透镜也拿一下。”

沈永健指向自己旁边几个用绒布小心包裹的部件，不由地再次嘱咐道。

“小心，镜面绝不能沾灰或指纹。”

卓邵文依言，动作极其轻柔地拆开包装，配合著沈永健的动作，小心翼翼地將镜头与组件配装到一起。

这台正式的第一代光刻机，核心零配件皆来源自產，不过部分零件依旧选用从苏方进口的，例如那投影透镜。

国內倒不是没有能製造的工厂和实验室，只是效能上还是苏方的生產配件更佳。

反正眼下双方关係不错，这类相关的零配件，对方也挺大方，自然是先用更好的零件。

约莫四个小时后，天色渐暗。

厂里除了收制车间有夜班工人外，大都已经下班，外头也再无任何杂音，显得有些寂寥。

好在大家心头都是火热，沈永健这边工作已进入尾声。

“沈工，操作台，光源系统和遮光板都装好了，您看看位置？”

见沈永健动作终於停下，刘师傅的声音便已从身后响起。

他负责的是工作量最大且要求严苛的机械部分。

笨重的高压汞灯光源，复杂的冷却管路以及控制光路的精密遮光板机构。

沈永健起身前去，身前这个“大傢伙”已然有了光刻机的雏形。

隨著他將电镜模组与各光学镜头模组安装完毕，观察投射在模擬硅片上的光斑形状和均匀度，再反覆调整遮光板和聚光镜的位置。

“…再左移一点…好，停！就是这个位置，固定死！”

在他果断下令后，刘师傅立刻用特製的工具將螺栓牢牢锁紧。

这台崭新的56型接触式光刻机终於正式装配完成。

它占地面积极大，比起原先的土光刻机都要大上一圈。

原因也简单，毕竟原先的土光刻机並不承担那些大照相机等后续的工作。

而如今完整的光刻，除了最后封装外皆会在这台机子上完成。

几人眼下还来不及高兴，曹文三与曲嵩二人正將预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。

首件光刻的测试，才是决定这台光刻机能否投入工作，是不是正式製成的关键。

沈永健深吸了口气，儘可能地平復心绪，透过镜头將硅片的复杂电路与掩膜版精確对准。

而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。

“x轴偏差0.05微米，y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕！”

初步手动校准后，完成最后一道电镜的自动校准，沈永健从操作台退后一步。

“对准完成！准备曝光！”

其余几人同样跟著后退，撤出设备的核心区域，目光跟隨著沈永健按下了启动按钮。

嗡——